- 洁净气缸阀LAD系列
|
◆概 要 |
一般産業用装置からFPD・太陽電池製造装置まで幅広く対応したクリ-ンなシリンダバルブです。 ボディには強度・耐食性に優れたPPSを採用、ダイアフラムには半導体業界に長年の実績のあるPTFEを採用したシリ-ズです。 |
◆特 長 |
(1)パーティクルの低減 : 流路に摺動部がない。精密洗浄後、防塵ルームで組立。 (2)管用テーパねじの採用 : 用途に合った樹脂配管を自由に選択・接続できます。 (3)低圧力損失 : 圧力損失を低減する流路設計。 (4)輸出貿易管理令 非該当 : ボディにPPS樹脂を採用し、輸出貿易管理令に非該当。 |
◆おもな仕様 |
<1.65MB> |
<<== | PDFデータの閲覧 PDFデータを開いたあと、ウィンドウ左上のマークをクリックしますと、保存できます。
|
◆2次元CADデータ(DXF) |
LAD*―10A―C* 接続口径:Rc3/8 PPSボディ PTFEダイアフラム | LAD--10A-C-.dxf |
LAD*―15A―C* 接続口径:Rc1/2 PPSボディ PTFEダイアフラム | LAD--15A-C-.dxf |
LAD*―20A―C* 接続口径:Rc3/4 PPSボディ PTFEダイアフラム | LAD--20A-C-.dxf |
LAD*―25A―C* 接続口径:Rc1 PPSボディ PTFEダイアフラム | LAD--25A-C-.dxf |